【摘 要】
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采用射频磁控复合溅射技术,在Si（111）衬底上制备Zn/SiO2复合薄膜,本文讨论了不同退火时间下形成的晶状氧化锌,并对其进行了X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）以及选区电
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采用射频磁控复合溅射技术,在Si（111）衬底上制备Zn/SiO2复合薄膜,本文讨论了不同退火时间下形成的晶状氧化锌,并对其进行了X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）以及选区电子衍射（SAED）分析和表征.可以看出,由于不同材料的结晶温度不同,在空气中700℃退火热处理,使金属锌从复合薄膜中析出并氧化,形成针叶状氧化锌结晶体,ZnO晶体为六方纤锌矿结构.
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