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研究了采用不同溶液制作InP／空气隙的侧向腐蚀工艺，对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析；研究了粘附释放工艺；在上述基础上制作完成了InP／空气隙结构，并采用微拉曼光谱来分析其应力分布情况，证实了制作工艺的可靠性。
InP／空气隙结构的制作与特性
【摘 要】
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研究了采用不同溶液制作InP／空气隙的侧向腐蚀工艺，对腐蚀速率、晶向选择性、表面形貌进行了分析；研究了粘附释放工艺；在上述基础上制作完成了InP／空气隙结构，并采用微拉曼光谱来分
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海空间电源研究所
【出 处】
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光电子.激光
【发表日期】
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2008年9期
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