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本文利用原子力显微镜(AFM)对电化学沉积的类金刚石碳膜(DLC)薄膜表面形貌进行观察,并初步考察了该薄膜的摩擦学特性.
电化学沉积DLC薄膜的AFM研究
【摘 要】
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本文利用原子力显微镜(AFM)对电化学沉积的类金刚石碳膜(DLC)薄膜表面形貌进行观察,并初步考察了该薄膜的摩擦学特性.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)
【出 处】
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第十二届全国电子显微学会议
【发表日期】
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2002年8期
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