【摘 要】
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本文研究了高频（13．56MHz）和低频（380KHz）深槽刻蚀机，对SOI硅片深槽刻蚀横向切口（notching）效应的影响。结果表明：过刻蚀量（0E）在20％时，高频设备发生notching现象，但是随着槽尺寸的增大，notc
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本文研究了高频（13．56MHz）和低频（380KHz）深槽刻蚀机，对SOI硅片深槽刻蚀横向切口（notching）效应的影响。结果表明：过刻蚀量（0E）在20％时，高频设备发生notching现象，但是随着槽尺寸的增大，notching的横向刻蚀量呈线性下降；低频设备在0E为90％时仍没有明显notching现象。研究表明SF6等离子体频率较低，难以响应高频射频场；以及高频设备刻蚀离子垂直方向性较强，易造成介质层电荷积累是导致notching效应的主要原因。
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