【摘 要】
：
采用射频磁控溅射法，在不同氧流量（0～10sccm）的条件下沉积了铟锡氧化物（In2O3-SnO2）透明导电薄膜。紫外分光光度计测试薄膜的透射率，四点探针测试薄膜的方阻，椭偏仪测试薄膜的复折射
【机 构】
：
华中科技大学模具技术国家重点实验室
论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射法，在不同氧流量（0～10sccm）的条件下沉积了铟锡氧化物（In2O3-SnO2）透明导电薄膜。紫外分光光度计测试薄膜的透射率，四点探针测试薄膜的方阻，椭偏仪测试薄膜的复折射率和薄膜厚度，XPS测试ITO薄膜的成分和电子结构。结果表明：薄膜的沉积速率和折射率与氧流量有关，薄膜厚度为60nm，氧流量在9sccm时，透射率超过80％（波长λ=400nm～700nm，包括玻璃基体），退火后透射率、方阻明显改善。XPS分析表明，薄膜中的亚氧化物的存在降低了薄膜的光电性能，控制氧流量可减少亚氧化物
其他文献
塑料作为成本低、使用便利、加工制造方便、质量轻、用途广的材料,曾被认为是“人类有史以来创造出的最成功的材料之一”。但也正因为这些优势,塑料在人类生活中的需求和产量
中西方大众文化产生和发展的不同社会历史背景,决定了中国特色的大众文化与西方语境中的大众文化的根本不同,并由此建构了我们理解当代中国大众文化本质的基本框架:受众的大
教育部“十二·五”规划教材“儿童保健学”全面阐述和介绍有关保障和促进儿童健康和生长发育的科学理论和实用技术，为我国儿童保健和儿科教学和培训提供系统的教材。
一般地,利润与销量和售价直接相关.但在近代中国较为特殊的经济环境下,开滦煤矿的情况是否也如此?本文运用计量经济学进行回归分析,揭示了开滦煤矿高利润的内在原因.
2018年2月1日,北京,“桑吉”轮碰撞燃爆事故处置工作新闻发布会,“从海上一线调查来看,国家海洋局第一时间就派出三条船赶赴现场进行现场的监测,”“我们在沉船点周边海域以
根据新形势下我国文化建设的特点和规律,适应社会主义市场经济的需要,按照文化产业发展的新要求,我们必须把握和处理好文化产业发展中的十二个重要关系,这对于有力促进我国文
针对现有空间环境模拟器试验数据统一管理和试验设备集中监控的难题,文章提出了一种基于实时数据库技术的试验数据管理平台,首次在国内系统级空间环境模拟器研制中引入实时数
单元整体教学指的是教师要做好备课与单元课文授课工作,以及单元综合性活动的有机整合。对此,要想探索出更新颖、有效的教学策略,初中语文教师就必须重视教学实践与反思,加强
民主协商是协商民主的重要表现与主要形式。推进民主协商是人民政协的自身使命、历史任务和时代期望。在社会结构多元化的新时期,人民政协要把握自身的发展、发挥自身的作用,
目的探讨计算机交互式分娩模拟系统结合情景模拟教学法在产科分娩见习教学中的应用效果。方法研究对象为我校2015级五年制学生共94名,随机分为试验组和对照组,每组各47名。研