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在利用单晶Si材料制备太阳电池的过程中，通常利用碱溶液各向异性腐蚀的特性，在表面形成类似于“金字塔”的绒面结构，降低太阳电池表面反射，提高太阳电池的转换效率。实验采用固定反应温度以及反应时间，调整NaOH溶液的质量分数和无水乙醇的体积分数，通过测量不同实验条件下样品的表面反射率和观察扫描电镜图像，最终得到较好的单晶Si太阳电池表面织构条件。最后分析NaOH溶液的质量分数和无水乙醇的体积分数对表面织构的影响，同时给出测量表面减反射率结果。该结论对工业化单晶Si太阳电池表面织构的制备具有一定的指导意义。