【摘 要】
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】文中探讨用汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜的不同工艺。研究ＳｎＯ２掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性，测试掺５％Ａｇ的ＳｎＯ２薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明，汽相沉积法制
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】文中探讨用汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜的不同工艺。研究ＳｎＯ２掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性，测试掺５％Ａｇ的ＳｎＯ２薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明，汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜工艺重复性好，灵敏度高，可用于制造新型的“气敏—光透过性”型气敏传感器。
In this paper, different processes for preparing SnO2-doped films by vapor deposition are discussed. The gas sensitivities of SnO2 doping films were investigated. The gas sensitivities of SnO2 thin films doped with 5% Ag gas at various ratios of ethanol gas were tested. The results show that the preparation of SnO2 doping film by vapor deposition method has good repeatability and high sensitivity, and can be used to manufacture a new type of gas-sensing and gas-permeable gas sensor.
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