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以ZnO和A1203粉体为原料，按照98：2（质量比）球磨混合制备氧化锌铝（aluminum zinc oxide，AZO）粉体，通过扫描电镜和透射电镜观察粉体形貌及均匀性，确立最佳混合工艺；将混合均匀的粉体进行煅烧预处理后进行热压烧结致密化试验，通过差热法分析原料性能，阿基米德法分析靶材密度以及压汞实验分析气孔演化对AZO靶材烧结致密化的影响。结果表明：微纳米粉体在球磨4hr时Al元素分布均匀性最好，煅烧前的混合粉体在差热分析过程中失重0．43％并伴随放热效应；煅烧处理后粉体形貌类球形，在差热分析实验0