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硅中杂质吸出的等离子体浸渍离子注入

来源 :国外核聚变与等离子体应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jackfbi

【作 者】

：

Wong H 刘明哲 

【出 处】

：

国外核聚变与等离子体应用

【发表日期】

：

1990年4期

【关键词】

：

硅 杂质 等离子体浸渍 离子注入 

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