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本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等。还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器的制造工艺技术。
微加速度传感器的新进展
【摘 要】
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本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等。还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨工业大学机电学院黑龙江哈尔滨,黑龙江哈尔滨
【出 处】
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纳米科技
【发表日期】
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2004年4期
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