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三坐标精密运动平台底座的设计
三坐标精密运动平台底座的设计
来源 :机械工程师 | 被引量 : 0次 | 上传用户:biuesnow
【摘 要】
:
在超精密加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点。文中以建成较大尺度三维结构的制造系统原型机为目标,进行了三坐标精密运动平台底座
【作 者】
:
杨国哲
王立平
郁鼎文
黄欢
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
机械工程师
【发表日期】
:
2005年07期
【关键词】
:
工件台
有限元
超精密
纳米
【基金项目】
:
973国家重大基础研究计划项目(2003CB716204)
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在超精密加工中,大行程驱动与高精度进给是难以解决的矛盾,也是多坐标超精密加工的难点。文中以建成较大尺度三维结构的制造系统原型机为目标,进行了三坐标精密运动平台底座的设计工作,运用ANSYS软件完成了平台的静态变形和动态特性的分析,通过对平台的设计方案进行比较,完成了运动平台底座的设计。
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