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本文扼要阐述了SiGe材料、SiGe HBT器件及电路的研究发展情况。展示了SiGe HBT的良好商业前景。对我所的SiGe技术发展水平作了简要介绍。
新型微波SiGe HBT集成电路研究概况
【摘 要】
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本文扼要阐述了SiGe材料、SiGe HBT器件及电路的研究发展情况。展示了SiGe HBT的良好商业前景。对我所的SiGe技术发展水平作了简要介绍。
【机 构】
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北京清华大学微电子研究所,北京清华大学微电子研究所
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2002年10期
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