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期刊论文
芯片背面磨削减薄技术研究
芯片背面磨削减薄技术研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:adfazzzzzzzzzzzzz
【摘 要】
:
通过实验数据和实物照片列出了减薄工艺参数、检测结果;并结合实例研究了现代磨削减薄系统多采用的硅片自旋转磨削技术,探讨脆性材料进行延性域磨削的加工机理。
【作 者】
:
王仲康
杨生荣
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2010年01期
【关键词】
:
背面减薄
自旋转磨削
亚表面损伤层
总厚度误差
延性域
崩边
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通过实验数据和实物照片列出了减薄工艺参数、检测结果;并结合实例研究了现代磨削减薄系统多采用的硅片自旋转磨削技术,探讨脆性材料进行延性域磨削的加工机理。
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