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中国工程物理研究院Z箍缩实验装置（PTS）的单路样机采用Marx发生器作为初级储能系统，标称电压为6MV。分析了6MVMarx发生器中任意位置的前级开关导通后，因为杂散、耦合电容的作用，后级开关将耐受约3．5倍的充电电压，对开关导通产生影响；并给出了Marx发生器的简化电路模型和包含杂散电容的电路模型，通过计算结果与实测波形的对比分析，认为杂散电容对发生器输出电压的上升前沿有一定的影响。