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为在物理气相沉积过程中获得理想的晶粒尺寸，介绍了一种精确控制纳米晶粒尺寸的微观控制方法，即用光的干涉方法控制能量场分布。利用MATLAB的循环计算能力计算光的矢量叠加，仿真光的干涉，分别对杨氏干涉、三光源干涉以及多光源不同排布的干涉进行分析。经过分析可知：3个或3个以上的光源线性排列时，得到的条纹是将两光源的条纹打碎；而多个光源按正多边形排列的干涉，规律排布区域出现在光源围成的区域中间，3个、4个及6个光源规律排布区域中加强点的间距分别为λ／√3，λ／√2和2λ；若要得到1cm^2规律排布区域，3个光源与