M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jicck321

【摘要】

：

提出了一种新型的Si基M-Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器.在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M-Z波导干涉仪及声光调制器.给出了该加速度检波器工作原

【作者】

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吴波陈才和张晓玲崔宇明张燕君钟娟娟

【机构】

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天津大学精密仪器与光电子工程学院

【出处】

：

光电子．激光

【发表日期】

：

2004年11期

【关键词】

：

集成光学波导偏振器 MOEMS 声光调制器微光电机械系统干涉仪量块分析设计相位检测 Acceleration measurementAcceler

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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提出了一种新型的Si基M-Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器.在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M-Z波导干涉仪及声光调制器.给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算.该检波器的主要设计参数为:固有频率1 353 Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2).

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