【摘 要】
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发明领域本发明涉及到电子化学品的生产方法,特别是超洁净和高纯度电子级醋酸生产方法。发明背景在电子工业上,电子级醋酸是重要的不可缺少的溶剂和电子化学品之一。由于生产
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发明领域本发明涉及到电子化学品的生产方法,特别是超洁净和高纯度电子级醋酸生产方法。发明背景在电子工业上,电子级醋酸是重要的不可缺少的溶剂和电子化学品之一。由于生产,运输和储存过程中使用的原材料和设备,在醋酸中存在一些微粒,金属离子,未反应的原料,中间产品或副产品。这些杂质的存在,尤其是金属离子,可导致OISF(氧化诱导堆叠故障),使PN结漏电流增大,发生故障,载流子寿命缩短。当集成电路线宽是薄的时,即使是少量的金属离子或粒子也可以摧毁整个电路。因此,电子化学品的纯度要求愈来愈高,保持超大规模集成电路的发展,和满足纳米级集成电路的纯度需求成为电子化学品的趋势。液体的超净高纯试剂,如醋酸(或工艺化学品)生产的关键是保持其中的杂质含量(如金属离子等)和粒度符合标准要求。主要生产方法包括离子亚沸
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