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通过分析白光干涉谱,计算出生长在GaAs衬底上的氮化镓薄膜厚度.重点介绍干涉谱包含的信息及数据分析方法.
白光干涉的谱分析及其数据处理
【摘 要】
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通过分析白光干涉谱,计算出生长在GaAs衬底上的氮化镓薄膜厚度.重点介绍干涉谱包含的信息及数据分析方法.
【机 构】
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大连理工大学,佳木斯大学
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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2001年6期
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