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原子光刻中激光场与原子束的作用力分析
原子光刻中激光场与原子束的作用力分析
来源 :鲁东大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshizd0214
【摘 要】
:
以铬原子为例,分析了激光与铬原子束相互作用的两种力即对铬原子束实施激光冷却的耗散力和对铬原子束实施汇聚的偶极力的特性,继而利用蒙特卡罗方法对该两种力在不同条件下的
【作 者】
:
朱保华
罗晓曙
【机 构】
:
广西师范大学物理与电子工程学院广西师范大学物理与电子工程学院桂林电子科技大学信息材料科学与工程系广西桂林
【出 处】
:
鲁东大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
原子光刻
耗散力
偶极力
铬原子
atom lithography dissipative force dipole force Chromium
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以铬原子为例,分析了激光与铬原子束相互作用的两种力即对铬原子束实施激光冷却的耗散力和对铬原子束实施汇聚的偶极力的特性,继而利用蒙特卡罗方法对该两种力在不同条件下的特性进行了相应的模拟,可为原子光刻过程提供必要的理论参考.
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