【摘 要】
：
激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生"束腰",本文将O2反应离子刻蚀引入到制作工艺中,对光刻胶图形进行
【机 构】
：
中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学院物理研究所磁学国家重点实验室
论文部分内容阅读
激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生"束腰",本文将O2反应离子刻蚀引入到制作工艺中,对光刻胶图形进行修正,获得了很好的效果,具有工艺简单、可控性好等特点.以50nm厚的由磁控溅射生长的Ta/Co0.9Fe0.1/Ta薄膜为基底,采用激光干涉光刻结合离子束刻蚀转移图形的方式,制作出了特征尺寸为330nm Co0.9Fe0.1亚微米周期结构,并采用SQUID的技术对其磁滞回线进行了研究.
其他文献
目的 观察二甲双胍对血清促甲状腺素(TSH)的影响.方法从2型糖尿病患者中,入选原发性甲状腺功能减退症(甲减)患者48例,组1单用二甲双胍而未予左旋甲状腺素(L-T4)替代治疗(n=17
为了最大限度地减少煤矿开发过程中引起的水土流失,本文以鄂尔多斯南部矿区为例,对煤矿开发中水土流失监测过程及要点进行了研究。结论认为,煤矿开发中不同时期的水土流失程
目的 评价P-糖蛋白(P-gp)表达对癌痛病人芬太尼或氯诺昔康镇痛效果的影响.方法 癌痛病人100例,年龄的49～64岁,体重55～65 kg,其中肿瘤组织P-gp表达阳性的病人50例,采用随机数字
目的 分析Cortactin分子与大肠癌细胞内吞作用的关系,了解癌组织高表达Cortactin的内在意义.方法 采用免疫组化和蛋白印迹检测大肠癌组织、癌旁组织及大肠癌细胞系中Cortacti
将由粉煤灰-土壤过滤后的沤麻废水收集,定期测定收集到的废水的COD值,研究粉煤灰-土壤对沤麻废水的处理效果,结果表明:3种规模的粉煤灰-土壤对沤麻废水的COD平均去除率分别达
目的 评价自体新鲜心包片在ASO术中重建肺动脉根部的疗效.方法 2004年1月至2010年6月,共行ASO术治疗先心病儿63例,均采用裤衩状自体新鲜心包片重建肺动脉根部.术后常规随访,
高粱红条病是一种重要的高粱病毒病,对我国北方地区的高粱为害较重.高粱红条病在不同地区间、不同品种间和不同栽培管理条件之间发病率都有差异.介绍了我国高粱红条病的病原
本文依据1967-2007年间的气象资料,对日本山口市的极端天气事件进行了分析,主要用像素分析和光谱分析法对景观树的响应进行了调查研究.结果表明,经过干热、多风的2007年夏季
质量合格的铁路桥梁是保证铁路正常运输的基础，而桥梁桩基则是桥梁的重要组成部位，桩基施工质量的好坏直接影响到整座桥梁的使用安全。因此，只有用先进的桩基施工技术来保证施工
利用直流磁控共溅射方法制备了GaN:Er薄膜.X射线衍射结果显示薄膜为纳米多晶结构,根据谢乐公式,计算得到了GaN薄膜晶粒的平均大小为5·8nm;透射电子显微镜结果显示为非晶基质