【摘 要】
：
报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所,中北大学电子测试国家重点实验室
论文部分内容阅读
报道了一种与CMOS工艺兼容的微机械热电堆红外探测器。提出了具有一对热电偶的两层悬浮结构,其占空因子达到80%以上,并采用P/N多晶硅作为热电偶材料,黑硅作为吸收层材料。给出了器件的工作原理,对性能优化与制作的工艺流程进行了分析,结合所选材料的基本参数,得到了优化后的结构尺寸。通过理论计算,可以获得响应率大于1000 V/W,探测率大于1×108cmHz1/2W-1,时间常数小于40ms,噪声等效温差小于30mK的性能优良的热电堆红外探测器。该器件的吸收层位于结构中的顶层,金属布线位于底层,便于与后续电路集成。单元大小为25 m×25 m,有利于制作非制冷红外焦平面阵列。
其他文献
随着汉语国际推广的深入,汉语分级读物的重要性日益凸显。"汉语作为二语的分级读物考察"一文对4套汉语分级读物进行了考察,认为存在题材单一、语言难度偏高、读物级别设置不
羟甲基戊二酰辅酶A还原酶抑制药是临床常用的降脂药 ,实验表明 ,此类药物除能降脂外 ,尚可通过影响细胞内信号传递通路抑制多种细胞增殖 ,促进细胞凋亡 ,可能成为治疗某些增
本文重点综述了抗凝剂肝素近年来在临床应用方面的新进展,包括低分子量肝素及肝素盐的应用、剂量、给药途径的选择及实验室监护等。目前临床上可应用肝素治疗多种疾病,作者对
<正>企业文化是企业发展的内在动力,优秀的企业文化可以促进企业的兴旺发达,使企业保持长期稳定和持续发展。在市场经济条件下,企业文化作为培育企业核心竞争力的重要手段,已
我们谈论爱情时都说什么［美国］雷蒙·卡佛于晓丹译我的朋友梅尔·麦吉尼斯正说着什么。海尔·麦吉尼斯是一位心脏病专家，有时这就给了他一种权力。我们四个人正坐在他的餐桌旁喝
<正>1998年1月至1999年12月,我科护理人员根据本科制定的康复路径,并采用CPM下肢功能锻炼器对455例下肢骨折术后患者进行了早期、系统的康复训练。455例患者中,男312例,女43
本文介绍了一种以STM32为核心的语音播报系统设计和实现。下位机选用的是ST公司基于CortexM3内核的32位处理器STM32F103C8T6为核心,通过XFS5051语音合成芯片硬件单元实现语音
近年来,非制冷红外探测器应用和开发一直是令人关注的焦点之一,详细介绍了几种现阶段流 行的非制冷热电堆探测器的工艺制作方法以及所用材料,并介绍了近几年来热电堆探测器的
你在圣·弗兰西斯科做什么［美国］雷蒙·卡佛于晓丹译这件事跟我一点关系也没有，它和一对年轻夫妇和他们的三个孩子有关。去年夏季的第一天，他们搬进我那条投递路线上的一座房子。
衰老机制的研究一直是过去20年医学领域的热门课题。神经系统作为机体所有生命活动的中枢,它在衰老过程中所起的作用,目前了解仍十分有限。本文通过回顾衰老研究的最新进展,