【摘 要】
：
为满足安全气囊辅助系统对信号识别的可靠性要求,采用UV-LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺在不锈钢基底上制作了一款轴向触发的镍微型惯性开关,其利用阿基米德螺旋梁结构来支撑
【机 构】
：
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,大连理工大学汽车工程学院
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(51475245).
论文部分内容阅读
为满足安全气囊辅助系统对信号识别的可靠性要求,采用UV-LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺在不锈钢基底上制作了一款轴向触发的镍微型惯性开关,其利用阿基米德螺旋梁结构来支撑悬空质量块,中心止挡柱作为螺旋梁过载保护结构,开关敏感方向垂直于衬底的方向。在制作过程中,引入了掩膜版线宽误差补偿的方法,降低了因胶膜溶胀与无机酸去胶等工艺带来的尺寸误差,通过煮沸的无机酸去除胶膜得到了结构完整的开关。最终制作出了整体尺寸为3850μm×3850μm×240μm、最小线宽尺寸为40μm的开关,并通过落锤试
其他文献
英语教学要注重结合儿童的心理和生理特点,小学生活泼好动爱表演,乐于接受新奇、趣味性强的事物,教师的教法 可以直接影响学生对学习的兴趣。对话教学是师生基于相互尊重、信
针对贺兰山东麓酿酒葡萄栽培过程中施肥存在的单施化肥、肥料种类少、利用率低等问题,通过田间试验设置不施肥(CK)、常规施肥、常规施肥+钙镁硫肥、常规施肥+钙镁硫肥+腐植酸
家庭教育是特殊教育的重要组成部分。美国重视家长在特殊教育中的地位和作用。通过多种方式,密切家校联系,谋求与家长的积极合作关系。同时通过多种平台,为特殊儿童的家长提
【目的】红三叶是世界上栽培最广泛的豆科牧草之一。由于配子体自交不亲和,使得红三叶种群内和种群间具有显著的表观性状差异,这种差异为红三叶育种提供可能。开展红三叶表观
目的：随着广州市经济发展进入新常态,城乡一体化的推进,统筹城乡医疗保障制度,提高城乡居民医疗保障水平,是当前以及未来很长一段时间所需要不断推进的工作。本文旨在针对目前
【正】 在全党全国认真学习贯彻十六大精神,开始全面建设小康社会,开创中国特色社会主义事业新局面的新形势下,胡锦涛总书记要求全党同志重温毛泽东同志关于“两个务必”的重