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准分子激光在微机械加工、医学、光通讯中具有重要应用.但由于准分子激光固有的特性,其光束能量具有不均匀性,从而准分子激光的应用受到极大制约.本文介绍了一种时空积分均束器系统的设计,并在计算机上模拟分析,得到激光输出光斑(靶面)的中心的能量与边缘的能量相差小于1%的均匀性效果.
准分子激光光束时空积分法能量均匀化的研究
【摘 要】
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准分子激光在微机械加工、医学、光通讯中具有重要应用.但由于准分子激光固有的特性,其光束能量具有不均匀性,从而准分子激光的应用受到极大制约.本文介绍了一种时空积分均束
【机 构】
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上海第二工业大学应用物理系,上海理工大学光学与电子信息工程学院
【出 处】
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上海第二工业大学学报
【发表日期】
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2002年2期
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