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对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于纳米光栅栅距的检定校准.
纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对
【摘 要】
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对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京100013
【出 处】
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2008年全国几何量精密测量技术学术交流会
【发表日期】
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2008年8期
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