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为减少加速器束流快引出元件铁氧体材料真空出气量,对铁氧体材料进行真空除气、镀膜以及烘烤工艺处理.采用旁路切换法( SPP)测量不同处理条件下的出气率.结果表明,铁氧体材料经真空除气后镀TiN膜,在测试罩中经烘烤,冷却后充氮气测得的出气率最低.
不同处理方法下铁氧体出气性能的研究
【摘 要】
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为减少加速器束流快引出元件铁氧体材料真空出气量,对铁氧体材料进行真空除气、镀膜以及烘烤工艺处理.采用旁路切换法( SPP)测量不同处理条件下的出气率.结果表明,铁氧体材料
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,甘肃 兰州,730000
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2012年1期
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