论文部分内容阅读
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能力强于平面端面同质器件的原因,所作的若干分析结果可用于这类器件的实际制作和应用.
提高抗激光烧蚀能力的表面尖形微结构器件
【摘 要】
：
讨论了光刻热熔成形工艺灰度掩模技术结合离子束蚀刻制作面阵尖形微结构器件的问题,分析了几种凸尖及凹尖结构抗入射激光烧蚀的能力强于平面端面同质器件的原因,所作的若干分
【机 构】
：
华中大学计算机学院外存储系统国家专业实验室,中国船舶重工集团华中光电技术研究所光电二部,光电子工程系
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2001年2期
其他文献
现阶段我国的经济发展处于转轨时期，在这一时期加强和改进金融监管，提高监管的有效性对我国金融业的健康有序发展无疑是非常必要的。在系统分析目前经济形势下我国金融监管存在
背景与目的：探讨乳腺外不同部位具有微乳头结构（micropapillary pattern，MPP）癌的临床病理和预后。材料与方法：对33例具有MPP结构的癌分别进行病理组织学观察及免疫组织化学EMA、E
教育与经济发展之间存在着相互制约、相互促进的关系，但这种关系在传递的各个环节，各个阶段并不总是必然协调的。随着经济的增长，不同区域的教育投入均有所增加，而教育投入的增加