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声表面波（SAW）气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波传感器的研究进展。
常见气体声表面波传感器研究进展
【摘 要】
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声表面波（SAW）气体传感器由于具有响应时间快、灵敏度高、体积小、成本低、稳定性好等特点受到广泛关注。本文侧重从敏感材料方面介绍了用于检测几种常见的有毒气体的声波面波
【机 构】
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安徽大学电子科学与技术学院,中科院微电子研究所纳米加工与新器件集成实验室
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2009年3期
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