【摘 要】
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介绍了多孔泡沫炭的特性以及化学气相沉积(CVD)技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaCl5-H2-HCl反应体系,以化学气相沉积法在多孔泡沫炭上沉积了钽涂层,使多孔泡沫炭
【机 构】
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昆明理工大学材料科学与工程学院; 昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室;
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介绍了多孔泡沫炭的特性以及化学气相沉积(CVD)技术制备难熔金属钽涂层的原理及方法。利用TaCl5-H2-HCl反应体系,以化学气相沉积法在多孔泡沫炭上沉积了钽涂层,使多孔泡沫炭在具有理想的多孔结构的同时,也具有良好的力学性能。利用扫描电子显微镜(SEM)、X-射线物相分析仪(XRD)、万能电子力学试验机及真密度/开闭孔率分析仪等分析手段,研究了多孔泡沫炭沉积钽前后的显微结构、物相组成、压缩性能及密度变化等性能。研究结果表明,钽涂层对多孔泡沫炭具有良好的包覆效果,多孔泡沫炭在沉积钽后色泽呈现银灰色金属光泽,力学性能由0.77MPa提升至3.7MPa,密度由1.5027g/cm3提高至7.7122 g/cm3。
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