【摘 要】
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新近发展起来的硅微传声器是采用硅材料为基片,使用微电子工艺技术制造的传声器.硅微传声器有多种类型,如电容式、场效应管式、压电式、压阻式、光波导式、热线式等.上世纪90
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新近发展起来的硅微传声器是采用硅材料为基片,使用微电子工艺技术制造的传声器.硅微传声器有多种类型,如电容式、场效应管式、压电式、压阻式、光波导式、热线式等.上世纪90年代以后有过一系列报道[1][2].近年来文献报道以电容式居多,它的工作原理依然是背极板和膜片组成平行板电容,声波作用于膜片,将声信号转变成电信号.背极做在硅基片上,以氮化硅等材料形成振膜.由于材料和工艺特点,硅微传声器具有体积小、性能稳定、价格低的特点.由于硅微传声器与集成电路工艺兼容,进一步发展有望形成微型传感器、微型执行器以及信号处理和
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