工艺参数对铀表面铝镀层热应力分布影响

来源 :中国工程物理研究院科技年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pp_dolphin
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为了防止铀的腐蚀,采用在铀表面磁控溅射镀铝,但使用中发现铝镀层内产生了较大的应力,影响镀层结合强度及使用性能。通常认为,薄膜内的应力有热应力和生长应力两种。文中通过改变沉积温度、镀层厚度以及镀层力学性能分数,研究它们对镀层热应力分布的影响,从而为改善铀表面铝镀层内热应力分布提供理论依据。
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