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建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统．该系统包括测试图形，测试信号处理电路及外围附件和专用软件，能自动完成薄膜材料参数的在线测试．测试方法和测试设备简单，能用于工艺线上的在线测试．
基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统
【摘 要】
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建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统．该系统包括测试图形，测试信号处理电路及外围附件和专用软件，能自动完成薄膜材料参数的在线测试．测试方法和测试设备简单
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
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