陶瓷表面无敏化活化法微细化学镀铜

来源 :电化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：study1129

【摘要】

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本文提出一种新的化学镀铜工艺,与激光微细刻蚀技术相结合可在Al2O3基底上实现无敏化活化化学镀铜,获得光亮致密、分辨率较高(40μm),导电性良好的化学镀层.

【作者】

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【机构】

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中科院福建物质结构研究所二部,中科院福建物质结构研究所二部

【出处】

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电化学

【发表日期】

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2005年2期

【关键词】

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【基金项目】

：

福建省厦门市科技创新基金

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