【摘 要】
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采用脉冲激光沉积方法在单晶MgO基片上外延生长了BaTiO3晶体薄膜．为改善薄膜的结晶质量和表面粗糙度，研究并优化了生长工艺中生长温度和激光能量两个参量，并对薄膜样片实行原位
【机 构】
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长春理工大学,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,哈尔滨工业大学
【基金项目】
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国家自然科学基金（No.60977052）资助
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采用脉冲激光沉积方法在单晶MgO基片上外延生长了BaTiO3晶体薄膜．为改善薄膜的结晶质量和表面粗糙度，研究并优化了生长工艺中生长温度和激光能量两个参量，并对薄膜样片实行原位退火．找到了BaTiO3薄膜在优先方向上的结晶效果，分析了结晶质量对生长温度的依赖关系和不同激光能量对结晶薄膜的表面粗糙度的影响．利用X射线衍射仪测定结晶效果与特性，原子力显微镜表征BaTiO3薄膜的结晶表面形貌与粗糙度．测试结果表明，在c轴取向生长BaTiO3薄膜，在（001）和（002）方向上都出现强度很高的尖锐衍射峰，具有较好的
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