论文部分内容阅读
在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜.X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰.
用锌有机源和CO2/H2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜
【摘 要】
：
在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜.X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到
【机 构】
：
南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047;南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,330034;南昌航空工业学院材料科学与工程学院,南昌,3300
【出 处】
：
光学学报
【发表日期】
：
2006年4期
其他文献
在高职会计教学的过程中,《会计基础》这一课程在会计课程的设计中占据重要作用,学习效率和质量将会直接影响学生的未来发展.本文通过对《会计基础》课程的教学过程中所存在