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基于随机前沿函数,考查了2002-2011年我国各省市高技术产业的研发活动,分别对R＆D中间产出效率和R＆D最终产出效率进行衡量,进而分析各种影响因素对产出效率的具体效应.研究发现：我国高技术产业R＆D投入未形成规模经济,且R＆D资本投入比R＆D人员投入效率高;各省市高技术产业R＆D效率差异明显,具体呈东部领先,中西部和东北地区落后的现状;企业规模、政府政策影响、市场化程度、市场结构以及时间因素对高技术产业R＆D中间产出效率和R＆D最终产出效率的作用差异显著.