论文部分内容阅读
近年来,干涉测量技术在三维形貌测量仪上应用广泛,鉴于现有的干涉测量方法所需要的光学结构复杂、测量范围小、测量时间较长等问题,提出了一种基于DMD的无扫描光纤多波长干涉测量技术。在基于迈克尔逊测量原理的基础上,利用光纤耦合器、FBG光纤光栅、微镜阵列(DMD)等光学器件搭建了一个多波长干涉测量系统,利用光纤光栅只反射布拉格波长的特性将各个波长的自混合干涉信号分离,利用多波长干涉来增大测量范围,利用控制DMD微镜翻转,实现无扫描测量。在MATLAB环境下搭建了光纤多波长干涉测量模型,加入TAVL3算法以