Synchrotron Radiation Lithography and MEMS Technique at NSRL

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yiyingyan

【摘要】

：

Two beamlines and stations for soft X-ray lithography and hard X-ray lithography at NSRL are presented. Synchrotron radiation lithography (SRL) and mask techniq

【作者】

：

LIUGang TIANYang-chao

【机构】

：

NationalSynchrotronRadiationLaboratory

【出处】

：

光学精密工程

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

SYNCHROTRON RADIATION LITHOGRAPHY (SRL) MEMS MICROREACTORS synchrotron radiation

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Two beamlines and stations for soft X-ray lithography and hard X-ray lithography at NSRL are presented. Synchrotron radiation lithography (SRL) and mask techniques are developed, and the micro-electro-mechanical systems (MEMS) techniques are also investig

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