【摘 要】
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针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题 ,提出了基于部件库的MEMS设计方法 ;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术。完成了各
【机 构】
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南开大学机器人与信息自动化研究所,南开大学机器人与信息自动化研究所 天津300071,天津300071
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针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题 ,提出了基于部件库的MEMS设计方法 ;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术。完成了各关键技术的攻关 ,并建立了一个原形系统。
Aiming at the problem of inadequate mechanical performance evaluation in current MEMS design tools, the MEMS design method based on component library is proposed. The concept of component and component library and the overall structure and key technologies of MEMS design environment based on component library are introduced. Completed the key technology research, and established a prototype system.
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