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工业生产中产生的磷化氢（PH3）气体是对人体和环境产生危害的污染物质，同时也是重要的工业原料，在次磷酸钠工业、半导体工业等领域中应用广泛。需对PH3废气进行处置以达到无害化处理和磷资源综合利用的目的。主要综述了工业生产过程中PH3废气的分析方法、处理技术及综合利用，简要介绍了在实验室和现场检测PH3气体的分析方法，综合评述了吸附法、化学氧化法、燃烧法、阻燃剂法等PH3废气的处理方法，最后提出了今后我国PH3废气治理的研究方向。