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精密自动定位器根据象散性原理研制而成。该定位器由非接触式光学传感头、移位控制驱动器以及精密执行机构三部分组成，已成功地用于非接触式纳米级光外差轮廓测量仪的调焦系统中，其定位精度可达±０．１μｍ。
一种精密自动定位器的研制
【摘 要】
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精密自动定位器根据象散性原理研制而成。该定位器由非接触式光学传感头、移位控制驱动器以及精密执行机构三部分组成，已成功地用于非接触式纳米级光外差轮廓测量仪的调焦系统
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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1998年1期
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