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研究了NdF3中杂质氧、氮的测定方法.针对NdF3高温易挥发、分解的特点和F2可能产生的腐蚀性,选择适宜的加热温度、使用镍助熔剂和适宜的浴料,选用标准坩埚进行试验,并在加热炉出口安装卤素陷阱,获得了满意的分析测定效果.对含氧0.57%,含氮0.022%的试样,分析精密度为氧5.9%,氮6.7%,加标回收率氧为95%～100%,氮为90%～105%.该方法也可用于其他稀土氟化物分析.