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涡轮分子泵的几种特性

来源 :四川真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qiujunzhang

【作 者】

：

杨祖银 金葆荔 

【出 处】

：

四川真空

【发表日期】

：

1990年2期

【关键词】

：

涡轮分子泵 分子真空泵 特性 

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