电沉积技术制作高聚物微流控芯片模具

来源 :电化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jerry_007_

【摘要】

：

利用电沉积技术制作微流控芯片金属模具,方法是:使用新型超厚光刻胶SU-8胶作近紫外光刻,并在光刻后的图案上电沉积金属Ni,之后去胶,最终获得金属模具.该法减小了电沉积工作量

【作者】

：

罗怡褚德南娄志峰刘冲王立鼎

【机构】

：

大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

【出处】

：

电化学

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

电沉积光刻结合力 Electrodeposit Photolithograph Binding force

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用电沉积技术制作微流控芯片金属模具,方法是:使用新型超厚光刻胶SU-8胶作近紫外光刻,并在光刻后的图案上电沉积金属Ni,之后去胶,最终获得金属模具.该法减小了电沉积工作量.采用反向电流预处理基底、并适当增加电铸液的添加剂以及脱模后真空退火,即可明显提高电沉积微结构与基底的结合力.用此金属模具成功热压了PMMA,制成了微流控芯片.

其他文献

市政道路管线施工中的防渗漏施工技术措施探究

城市化进程的加快,市政基础设施工程数量也得到了一定限度的增多。道路管线施工作为市政工程的重要施工环节,对于城市发展以及人们的日常生活水平也有着重要意义。但是在道路

期刊

市政道路管线施工防渗漏施工技术

复方丹参注射液对高胆红素血症合并脑干听性诱发电位异常患儿脑血流速度的影响

目的探讨复方丹参注射液对高胆红素血症合并脑干听觉诱发电位异常患儿脑血流速度的影响。方法95例高胆红素血症合并脑干听性诱发电位异常新生儿,随机分为观察组48例和对照组4

期刊

黄疸新生儿脑干听性诱发电位脑血流速度

粗糙集在民航飞机故障数据处理中的应用

为了提高民航飞机维修中故障诊断的安全性和可靠性，改善差别矩阵求核算法在实际应用中常见问题，以A320飞机自动驾驶仪不能衔接的主要及多发故障部件的故障数据处理为例进行了阐

期刊

粗糙集民航属性约简差别矩阵rough set. civil aviation knowledge reduction discernibility ma

多元化社会时期编辑伦理秩序的重构

在我国多元化社会时期,物质利益和价值观多元化的外部社会环境及出版行业的职业道德规范不完善、监管不力、编辑自身道德要求不严等因素,造成部分编辑职业道德意识淡薄、社会

期刊

编辑伦理职业道德价值观多元化社会

阜新煤矿区次生裸坡土壤抗冲性比较分析

为探讨煤矿区次生裸地边坡的稳定性，采用野外调查、取样和室内实验分析相结合的方法，对阜新矸石山和排土场的土壤性状和抗冲性进行比较分析。结果表明：煤矿区次生裸坡土壤的不稳

期刊

煤矿区次生裸坡抗冲性coal mine secondary bare slope anti-impact property

电沉积技术制作高聚物微流控芯片模具

其他学术论文