薄膜电阻应变传感器中的绝缘隔离

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木文介绍了薄膜电阻应变传感器中作为绝缘隔离层的双层介质膜的制备方法及其绝缘特性. Mu Wen introduced the thin film resistive strain sensor as an insulating layer of double-layer dielectric film preparation method and its insulation properties.
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