论文部分内容阅读
集成电路制造工艺的特性,制程中的扩散、离子植入、化学气相沉积、蚀刻和光刻等工序中所使用的危险化学品,大多具有易燃性、可燃性、有毒性、腐蚀性等危害特性,给生产中带来了火灾、爆炸、中毒等潜在的高安全风险。成功的集成电路制造企业安全文化主要体现在健全的安全管理体制、有效的安全措施与制度的建设,以及通过各种方式培养员工警钟长鸣的“安全第一”的意识形态,这一点尤为重要。养成安全的思维方式、行为准则、道德观以及价值观等比硬性的规定更有长远的效用。