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浅谈多晶硅高盐水的处理工艺及运行情况
浅谈多晶硅高盐水的处理工艺及运行情况
来源 :中国井矿盐 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiahou001
【摘 要】
:
本文介绍多晶硅高盐水的处理工艺及特点,总结了除硅、脱碳、MVR蒸发、三效蒸发等工序的运行情况,提出了多晶硅高盐水处理的工艺控制参数。
【作 者】
:
王海元
【机 构】
:
自贡市轻工业设计研究院有限责任公司
【出 处】
:
中国井矿盐
【发表日期】
:
2020年4期
【关键词】
:
多晶硅高盐水
除硅
脱碳
氯化钙
多效及MVR蒸发
Polysilicon high salt watersilicon removaldecarburizat
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本文介绍多晶硅高盐水的处理工艺及特点,总结了除硅、脱碳、MVR蒸发、三效蒸发等工序的运行情况,提出了多晶硅高盐水处理的工艺控制参数。
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