【摘 要】
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介绍了各种化学气相沉积（CVD）碳化硅（SiC）先驱体的性质，比较了其沉积过程和沉积产物的差异，并利用HyperChem软件对2，4，6-三甲基-2，4，6-三硅杂庚烷（TMTSH）和甲基三氯硅烷（MTS）2种代表性先驱
【机 构】
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国防科学技术大学航天与材料工程学院
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介绍了各种化学气相沉积（CVD）碳化硅（SiC）先驱体的性质，比较了其沉积过程和沉积产物的差异，并利用HyperChem软件对2，4，6-三甲基-2，4，6-三硅杂庚烷（TMTSH）和甲基三氯硅烷（MTS）2种代表性先驱体的热分解过程进行了计算。结果表明：TMTSH结构中的Si-C键和Si-H键易断裂，分解为小分子自由基或者原子，能够在较低的温度下沉积得到SiC，且沉积速率和沉积效率较高，副产物随时间的变化而有所不同；MTS分子中的G-H键和Si-Cl键的键能都较大，反应所需的活化能较高，只有在较高的温度
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让车平移的球形轮胎 今年3月，固特异公司推出了一款概念轮胎Eagle360——和传统车胎最大的不同，就是这款轮胎是球形的，通过磁悬浮技术与车身连接。球形轮胎最大的好处在于，可以实现360°旋转，以往汽车只能前进后退，有了球形轮胎之后，甚至还能左右平移！ 尽管只是一款概念产品，但球形轮胎的出现，似乎让汽车又有了全新的进化方向。 闹钟的终极形态 要是闹钟也会进化的话，那么Hello Sense
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