【摘 要】
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本测试方法是应用激光扫描,集成电路的各种缺陷可以在电视屏上显示出来;这种非接触式的系统可以代替那些用笨拙的机械探针的测试器。
This test method is applied to laser
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本测试方法是应用激光扫描,集成电路的各种缺陷可以在电视屏上显示出来;这种非接触式的系统可以代替那些用笨拙的机械探针的测试器。
This test method is applied to laser scanning, integrated circuit defects can be displayed on the TV screen; this non-contact system can replace those who use clumsy mechanical probe tester.
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