【摘 要】
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通过霍尔槽试验、阴极极化测试、循环伏安测量、扫描电镜观察等方法分析了一种炔醇类表面活性剂对HEDP（羟基乙叉二膦酸）镀铜电沉积行为及镀层结构的影响。结果表明，该添加剂可在电极表面吸附，阻碍铜的电沉积，具有显著的细化晶粒和整平作用。该添加剂也可明显提高HEDP体系镀铜的光亮区电流密度上限，但其过量会令阳极钝化趋势增大，使低电流密度区镀层发黑。该添加剂的使用量在1.2～1.6 mL/L为宜。镀液中加入
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通过霍尔槽试验、阴极极化测试、循环伏安测量、扫描电镜观察等方法分析了一种炔醇类表面活性剂对HEDP（羟基乙叉二膦酸）镀铜电沉积行为及镀层结构的影响。结果表明，该添加剂可在电极表面吸附，阻碍铜的电沉积，具有显著的细化晶粒和整平作用。该添加剂也可明显提高HEDP体系镀铜的光亮区电流密度上限，但其过量会令阳极钝化趋势增大，使低电流密度区镀层发黑。该添加剂的使用量在1.2～1.6 mL/L为宜。镀液中加入1.6 mL/L炔醇类添加剂后，铜镀层表面结晶细致均匀，几乎呈镜面光亮，平均晶粒尺寸约为27.6 nm，且在（111）晶面择优取向明显。
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