ZnO基薄膜晶体管的研究

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ZnO是一种宽带隙的光电半导体材料,能应用于很多领域,如可用在压敏变阻器、声表面波器件、气敏元件、紫外光探测等。ZnO也可以作为有源层应用于薄膜晶体管(TFT)中。ZnO基薄膜晶体管具有以下突出优势:对于可见光部分平均具有80%以上的透射率,迁移率可以高达36cm^2/V·s,开/关电流比大于10°,可在较低温度(甚至室温)下制备。基于这些优点,ZnO TFT具有取代有源矩阵液晶显示器中常规a—Si TFT的趋势。同时对ZnOTFT的研究也推动了透明电子学的发展。本文阐述了ZnOTFT
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